星空体育app官网入口国家知识产权局信息显示,杭州开幕光子技术有限公司;浙江老鹰半导体技术有限公司申请一项名为“VCSEL激光芯片的切割方法及VCSEL激光芯片”的专利,公开号CN121840350A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本申请实施例涉及一种VCSEL激光芯片的切割方法及VCSEL激光芯片,该方法包括:提供一VCSEL激光芯片;于VCSEL激光芯片上旋涂一第一保护胶层;去除沟道内的部分第一保护胶层;于第一保护胶层上旋涂一第二保护胶层,得到中间VCSEL激光芯片;沿着沟道对中间VCSEL激光芯片进行图案化,以暴露出部分底部反射镜结构并形成凹槽结构;加热暴露出部分底部反射镜结构的中间VCSEL激光芯片,得到目标VCSEL激光芯片;第二保护胶层下的第一保护胶层在加热状态下回流至凹槽结构;利用激光沿垂直于沟道方向对目标VCSEL激光芯片进行切割。应用本申请的方案可避免侧腐异常,提高了产品良率。
天眼查资料显示,杭州开幕光子技术有限公司,成立于2024年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州开幕光子技术有限公司专利信息52条。
浙江老鹰半导体技术有限公司,成立于2018年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5521.647万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江老鹰半导体技术有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目6次,财产线条,此外企业还拥有行政许可9个。
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